基于相变水冷温控原理的超磁致伸缩微位移驱动器

本发明公开了一种基于相变水冷温控原理的超磁致伸缩微位移驱动器。通过电流来控制输出位移的驱动装置，并通过相变温控装置和水冷循环装置之间的配合，将驱动器内部热量带到外界环境，实现抑制驱动器温升和热误差输出，提高输出位移控制精度。本发明驱动器结构简单，驱动电流较小，工作稳定，频响特性好；结合了相变温控技术和水冷温控技术的优点，能实施长时间温控，无需建立复杂的数学模型，能有效抑制热误差输出，位移输出控制精度可达到亚微米级甚至更高，并且能适应各种恶劣的工作环境。同时具有体积小、重量轻、输出力大、位移精度高，能抑制热变形对驱动器输出位移的影响，可用于超精密加工、振动控制等领域。