一種包含相變材料的電漿處理腔

本发明揭露了一种包含相变材料的电浆处理腔，其包含真空腔本体，真空腔本体包含腔体内壁及腔体外壁，腔体内壁形成有用于电浆处理制程的处理腔，在腔体内壁与腔体外壁之间还形成有至少一个空腔，空腔内填充有相变材料，其能在空腔内自由流动。本发明提供的电浆处理腔，将液态相变材料灌封在电浆处理腔的腔体内壁与腔体外壁之间的空腔内，液态相变材料吸热变成流体后可以在空腔内自由流动，可以充分实现区域内的热交换，以快速达到区域内的温度均匀一致，保持电浆处理腔的温度恒定，无需其他操作，节能且方便可控制。