自冷式移动式镀膜承载盘

本发明提供一种自冷式移动式镀膜承载盘，包含：一载盘单元，及一相变化物质。该载盘单元内部形成有一密闭空间。该相变化物质填置于该载盘单元的密闭空间中。该相变化物质能自该载盘单元吸收一热能，以作为至少部分的该相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且该相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。借由该相变化物质本身于相变过程所需的熔解潜热，以自该载盘单元吸收该热能，能带走于溅镀过程中累积在待镀物上的高温热能，以借此提升散热效果并从而改善镀膜质量。