一种相变阀装置

本实用新型涉及微流控技术领域，尤其涉及一种相变阀装置流道层和相变层；所述流道层上开设有微流道，所述相变层上靠近所述流道层的一侧开设有相变微腔道；所述流道层与相变层之间设有可变形的第一柔性薄膜，用于隔开所述微流道和相变微腔道；所述相变微腔道中间设有可变形的第二柔性薄膜，将所述相变微腔道分割为上腔和下腔；所述上腔填充有液态金属，同时下腔填充有相变材料；或所述上腔填充有相变材料，同时下腔填充有液态金属；所述液态金属用于加热所述相变材料实现所述相变材料膨胀或收缩。本实用新型的相变阀装置制备工艺简单，成本低，灵敏度高。