一种超导相变温度传感器及其制备方法

本发明提供的一种超导相变温度传感器及其制备方法，其中所述传感器包括：依次镀在基板上的第一层薄膜和第二层薄膜；第一层薄膜为超导材料；第二层薄膜的宽度与第一层薄膜的宽度的比值沿所述第一层薄膜的长度方向逐渐变化；所述第一层薄膜的厚度与所述第二层薄膜的厚度之和为0.2‑200nm。在所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值的最大处的超导相变温度为第一温度，在所述第二层薄膜的宽度与所述第一层薄膜的宽度的比值的最小处的超导相变温度为第二温度，超导相变温度传感器的最佳工作范围为所述第一温度至所述第二温度。本发明提供的超导相变温度传感器具有较宽的工作范围，使得超导相变温度传感器的适用范围更广泛。