制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法

本发明公开了一种制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法，其中气相沉积炉由炉体和炉盖构成，其中炉体设于相变保护套内，在炉体与相变保护套之间填充有相变保温介质形成相变保温层。体由内至外依次为具有炉腔的石墨筒、加热器、保温隔热层和具有夹层的外壳，石墨筒上设有石墨盖，所述保温隔热层为具有中空部的夹层结构。本发明的气相沉积炉可有效抑制气相沉积炉因各种原因造成的短时升温，结构简单易于实施。并且保温效果好。