一种传感器压电薄膜结构

本发明提供了一种传感器压电薄膜结构，包括保护层、相变层、ALN层和基载层。本发明在现有技术的基础上添加了由恒温相变材料构成的相变层，利用相变材料的恒温特性在一定温度范围内维持压电薄膜结构的相对恒温，从而实现了传感器压电薄膜在温度变化较频繁环境下仍能保持较高的灵敏度。此外，该技术结构简单、成本较低、应用前景比较广泛。