散热型封装结构及其制作方法、散热型封装基板

专利类型: 
相变材料专利导航
公开(公告)号: 
CN104538372B
申请日: 
2014-12-29
申请局: 
CN
摘要: 
本发明公开了一种散热型封装结构及其制作方法、散热型封装基板。其中,所述散热型封装结构包括在基板的上表面设置向下延伸的凹槽,凹槽具有凹槽下表面和凹槽侧表面,贯穿所述凹槽的下表面和所述基板的下表面设置至少一通孔,设置于至少一通孔中的金属层,设置于基板的上表面且位于凹槽上方的金属背板,金属背板和凹槽形成一腔体,腔体内填充有相变材料;键合于基板的下表面且位于至少一通孔对应的区域的至少一芯片。本发明能够将芯片的热量迅速转移到玻璃基板的散热端,有效减少玻璃基板的热阻,且有利于高密度集成。
原始专利权人: 
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
当前专利权人: 
华进半导体封装先导技术研发中心有限公司