专利类型:
相变材料专利导航
公开（公告）号:
KR101341875B1
申请日:
2008-04-30
申请局:
KR
摘要:
본 발명은 상변환 물질 연마용 슬러리 및 이를 이용한 상변환 물질의 패터닝 방법에 관한 것으로, 상변환 물질을 연마하는 슬러리로서, 연마재와, 알칼리성 연마 향상제와, 초순수를 포함하는 상변환 물질 연마용 슬러리와 이를 이용한 상변환 물질의 패터닝 방법을 제공한다. 이와 같이 연마재, 알칼리성 연마 향상재를 사용하여 슬러리의 pH를 조절할 수 있고, 상변환 물질의 연마율을 향상시키고, 상변환 물질과 절연층 간의 연마 선택비를 증대시킬 수 있다. 상변환 물질, 전류, 주울 열, 연마재, 알칼리성 연마 향상제, 연마율, 연마 선택비
原始专利权人:
한양대학교 산학협력단
当前专利权人:
한양대학교 산학협력단