能提高控溫精度的基板安裝台及電漿處理設備

本发明揭露了一种能提高控温精度的基板安装台及电浆处理设备，基板安装台包含依次设置的导电基座、热隔离层、加热层、控温层和静电吸盘层；导电基座中还设有冷却系统；控温层内设置空腔，空腔内填充有金属相变材料，在电浆处理过程中，金属相变材料融化并在具有不同温度的区域之间流动，以维持基板的温度恒定，达到精确控温的目的。本发明通过设置金属相变材料进行控温，利用了金属相变材料的吸热、放热特性，结构简便，控温过程容易控制。通过设置能精确控温的控温层，维持静电吸盘温度稳定，从而保证基板蚀刻的均匀性，达到高品质产出的目的，且节能环保，操作简便。