专利类型:
相变材料专利导航
公开（公告）号:
KR101257458B1
申请日:
2011-05-31
申请局:
KR
摘要:
실리콘 폐슬러지로부터 탄화규소 축열재를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 실리콘 웨이퍼 절단 공정에서 발생하는 실리콘 슬러지를 제공하는 단계; 비산화성 분위기에서 상기 실리콘 슬러지를 열처리하여 유분의 일부를 제거하는 단계; 상기 실리콘 슬러지 및 바인더를 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계; 상기 슬러리를 압출하여 허니콤 구조의 성형체를 제조하는 단계; 및 비산화성 분위기 및 1300~1900℃의 온도에서 상기 성형체를 반응소결하는 단계를 포함하는 탄화규소 축열재의 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 높은 열전도성, 축열성 및 내화학성을 갖는 SiC 재질의 축열재를 낮은 비용으로 제조할 수 있는 장점을 갖는다.
原始专利权人:
주식회사 엔바이온 | 한국세라믹기술원
当前专利权人:
한국세라믹기술원 | 주식회사 엔바이온